Покрытие PECVD SiOx прозрачное, обладает высокими защитными свойствами, пригодно для переработки, сертифицировано FDA, не наносит вреда окружающей среде и может использоваться в микроволновых печах.
Возможность масштабирования
Использование дополнительных модулей для нанесения покрытий позволяет увеличить скорость или толщину наносимых покрытий SiOx. Поскольку потребность в вакууме минимальна, сокращается время цикла.